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Engineering & Fertigung / Optomechanik

ZOOM Messobjektiv

Optomechanik auf µm-Niveau

Aufgabe:

Entwicklung einer integrativen Baugruppe zur Vermessung der Brennweite großer Linsen in einem Belichtungsgerät innerhalb einer Halbleiter-Fertigungslinie.

Herausforderung:

Höchste Präzision und Zuverlässigkeit im Dauerbetrieb unter Einhaltung der Einbaugegebenheiten.

Lösung von CEMEC:

  • Positionierung zweier Linsen besser 2µm über den Weg von 60,0mm ohne Regelkreis
  • Zoomstrecke kartanisch durch die optische Achse justierbar
  • Umsetzung inkl. Validierung bis Serienreife

Leistungsumfang von CEMEC:

  • Entwicklung 100% / Eigenfertigung 90%
  • Prototypenerstellung, Validierung, Dokumentation
  • Lieferung der Serie

Mehrwert für den Kunden:

  • Nur einen Ansprechpartner für Entwicklung und (Serien-)Fertigung
  • Möglichkeit der unkomplizierten Produktanpassung in der Zukunft

Daten dieser Applikation

Wiederholgenauigkeit:
1 µm
Schleichfahrt:
1 µm/sec
Hysterese:
1 µm

Ist Ihr Projekt ähnlich oder doch anders?

Sprechen Sie uns gerne an. Wir lieben Herausforderungen.

Geprüfte Qualität – mehrfach ausgezeichnet

Unsere Arbeit wird regelmäßig von unabhängigen Institutionen geprüft und ausgezeichnet.

Zertifiziertes Qualitätsmanagement
Raumfahrtqualifizierung
für das Biolab-Mikroskop-Projekt

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